Subsurface damage in polishing-annealing processed ZnO substrates

Tekijät: Prozheeva, V.; Johansen, K. M.; Neuvonen, P. T.; Zubiaga, A.; Vines, L.; Kuznetzov, A. Yu; Tuomisto, F.
Tekijöiden määrä: 7
Kieli: englanti
Julkaisutyyppi: A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä
Julkaisufoorumiluokka : 1
JUFO-ID: 62998
Julkaisija: Elsevier Limited
Julkaisuvuosi: 2017
ISSN: 1369-8001
Volyymi: 69
Sivunumerot: 19 - 22
Tieteenala: Tekniikka
Kone- ja valmistustekniikka
Paikalliset tekijät ja heidän affiliaationsa: Tuomisto, Filip - Aalto-yliopisto, Department of Applied Physics
Prozheeva, Vera - Aalto-yliopisto, Department of Applied Physics
Sarja: MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
Aiheet:
ZnO
Linkit: https://research.aalto.fi/files/41964677/SCI_Prozheeva_Subsurface_damage_in_polishing_annealing_processed_ZnO_substratespdf.pdf
https://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2017.02.021
Organisaation sisäinen affiliaatio: Aalto-yliopisto, Department of Applied Physics