Maskless, High-Precision, Persistent, and Extreme Wetting-Contrast Patterning in an Environmental Scanning Electron Microscope

Tekijät: Liimatainen, Ville; Shah, Ali; Johansson, Leena-Sisko; Houbenov, Nikolay; Zhou, Quan
Tekijöiden määrä: 5
Kieli: englanti
Julkaisutyyppi: A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä
Julkaisufoorumiluokka : 3
JUFO-ID: 67199
Julkaisija: WILEY-V C H VERLAG GMBH
Julkaisuvuosi: 2016
ISSN: 1613-6810
Volyymi: 12
Numero: 14
Sivunumerot: 1847 - 1853
Tieteenala: Tekniikka
Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka
Sarja: Small
Linkit: https://dx.doi.org/10.1002/smll.201503127
Organisaation sisäinen affiliaatio: Aalto-yliopisto, Department of Electrical Engineering & Automation Aalto-yliopisto, Department of Bioproducts and Biosystems Aalto-yliopisto, Department of Electronics & Nanoengineering Aalto-yliopisto, Department of Applied Physics