Wet Etching of Silicon

Julkaisussa: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies Second Edition
Tekijät: Gosálvez, Miguel A.; Zubel, I.; Viinikka, Eeva
Tekijöiden määrä: 3
Kieli: englanti
Julkaisutyyppi: A3 Kirjan tai muun kokoomateoksen osa
Julkaisufoorumiluokka : 2
JUFO-ID: 5318
Julkaisija: Elsevier Inc.
Julkaisuvuosi: 2015
Emojulkaisun nimi: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies Second Edition
Sivunumerot: 470 - 502
Aiheet:
Linkit: https://dx.doi.org/10.1016/B978-0-323-29965-7.00022-1
Organisaation sisäinen affiliaatio: Aalto-yliopisto, Teknillisen fysiikan laitos